Заместитель начальника отдела спецматериалов АО «НИИМЭ» Анатолий Еремчук выступил на заседании ТехноКлуба ОЭЗ «Технополис Москва» с докладом «Развитие микротоннажного производства особо чистых веществ и материалов для микроэлектроники». Участниками встречи, посвященной обсуждению вопросов импортозамещения сырьевой базы для микроэлектроники на площадке «Алабушево», стали более 80 экспертов из 40 компаний и научно-исследовательских организаций.
Для производства всей номенклатуры полупроводниковых приборов и интегральных схем используется около 20 тысяч наименований материалов, из них ключевыми является примерно тысяча. При этом значительная часть сырьевой базы до последнего времени поставлялась из-за рубежа. Сегодня ведущие российские производители микроэлектроники начали активную работу по замещению материалов отечественными аналогами.
Значимую роль в этом процессе играет НИИ молекулярной электроники (входит в ГК «Элемент»), выполняя работы по разработке и организации микротоннажного производства чистых веществ для современной микроэлектроники, проводя исследования в области контроля качества технологических сред и создания химреактивов в единственной в России физико-химической аналитической лаборатории.
К настоящему времени освоено производство трех материалов и ведется разработка еще 12 материалов. В их числе необходимые для производства микросхем фоторезисты - светочувствительные к актиничному излучению с длинами волн 193 нм и 248 нм. Данные фоторезисты являются основными в производстве интегральных микросхем с проектными нормами 180-90 нм.
Для производства всей номенклатуры полупроводниковых приборов и интегральных схем используется около 20 тысяч наименований материалов, из них ключевыми является примерно тысяча. При этом значительная часть сырьевой базы до последнего времени поставлялась из-за рубежа. Сегодня ведущие российские производители микроэлектроники начали активную работу по замещению материалов отечественными аналогами.
Значимую роль в этом процессе играет НИИ молекулярной электроники (входит в ГК «Элемент»), выполняя работы по разработке и организации микротоннажного производства чистых веществ для современной микроэлектроники, проводя исследования в области контроля качества технологических сред и создания химреактивов в единственной в России физико-химической аналитической лаборатории.
К настоящему времени освоено производство трех материалов и ведется разработка еще 12 материалов. В их числе необходимые для производства микросхем фоторезисты - светочувствительные к актиничному излучению с длинами волн 193 нм и 248 нм. Данные фоторезисты являются основными в производстве интегральных микросхем с проектными нормами 180-90 нм.
«Метрологическое обеспечение разработки материалов в рамках НИОКР выполняется в аккредитованной физико-химической лаборатории АО «НИИМЭ». За время существования разработано более 100 методик анализа, из них 49 – в рамках выполнения НИОКР», – рассказал заместитель начальника отдела спецматериалов АО «НИИМЭ» Анатолий Еремчук.
Как отметили участники мероприятия, для достижения технологической независимости отечественной микроэлектроники необходимо создание стратегического запаса материалов с длительными сроками хранения. Это возможно только при наличии промышленной кооперации, в том числе с научно-исследовательскими организациями. При этом по ряду материалов российские производители уже сегодня способны полностью обеспечить отечественный рынок.
«Мероприятие, где активно обсуждалось создание российской сырьевой базы для микроэлектроники, было призвано не только найти ответы на непростые вопросы и определить вектор в разработке новых материалов, но также помочь производителям найти партнеров для реализации своих проектов. Для особой экономической зоны столицы, где сосредоточено более 30 предприятий микроэлектроники, это имеет стратегическое значение», – резюмировал генеральный директор ОЭЗ «Технополис Москва» Геннадий Дёгтев.
Цель проекта ТехноКлуб – формирование технологического сообщества по темам, являющимися профильными для ОЭЗ «Технополис Москва»: микроэлектроника, фотоника, электромобилестроение, фармацевтика, медтех, робототехника, новые материалы, БПЛА.
